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灵川作为一个质量流量控制器经济型10SCCM S48-32-HMT、MFC-10SCCM-4IS系列1/4 英寸SW
作为一个质量流量控制器经济型10SCCM S48-32-HMT、MFC-10SCCM-4IS系列1/4 英寸SW可以进行精确的气体质量流量控制。配备高度可靠的热传感器和电磁阀。响应速度快，不到2秒即可达到流量设定值。材质（气体接触部分） SUS316L、Viton、PTFE、磁性不锈钢 阀门类型 不通电时关闭：C 电源（驱动） DC ±15V 气体类型 Ar 耐压（MPa） 1（G） 响应速度 0 至 50 LM/ 1秒内、100LM~/2秒内 流量精度 ±1.0%FS (15°C~35°C) 接头（标准） 0~50LM/相当于1/4inch Swagelok 面对面 = 127mm, 相当于100LM/200LM/3/8inch Swagelok 面对面 = 181mm 重复精度 ±0.2%FS (15°C 至 35°C) 流量（设定信号）0.1 至 5VDC，（输出信号）0-5VDC 流量控制范围0～50LM/2～100%FS、100LM~/5～100%FS 泄漏率(Pa·m3/sec)(外部) 1×10-8(He)以下内容容量：1个
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